膜厚儀維修校準操作的三種方法
　　
　　膜厚儀維修不必每次使用前都做校準。但是，當基體材料改變時及試樣形狀改變時，都要進行一次校準。校準時要使用沒有涂層的基試塊和已知厚度值的標準片，基體和標準生要求表面清潔、平整。
　　
　　1、膜厚儀維修校準有以下三種方法：
　　
　　（1）探頭遠離基體（>15mm），按下CAL鍵，顯示器出現提示“ZERO”、顯示值“0.0”。
　　
　　（2）在基體上測量5－10次，顯示零點測量結果的平均值。
　　
　　（3）連續按下兩次CAL鍵，儀器接受新的零點，退出校準狀態，顯示“0”，進入測量狀態。
　　
　　2、膜厚儀維修多點校準（用基體和標準片校準）
　　
　　（1）將探頭遠離基體，按CAL鍵，提示“ZERO”，顯示“0.0”。
　　
　　（2）在基體上測量5－10次，顯示零點測量結果的平昀值。
　　
　　（3）按CAL鍵，儀器自動校準零點。提示“STD1”，顯示“0.0”。
　　
　　（4）取*標準片，放在基體上，測量5－10次，顯示該標準片測量結果的平均值。
　　
　　（5）按△或▽鍵，使顯示值與標準片厚度值相等。
　　
　　（6）按CAL鍵，儀器存入該校準值后，提示“STD2”顯示“0.0”
　　
　　（7）重復（4）－（6）的操作，校準其它兩個標準片。爾后，儀器退出校準狀態，顯示“0”，進入測量狀態。
　　
　　3、膜厚儀維修特性校準（用已知厚度的參考試樣和標準片校準）
　　
　　（1）探頭遠離參考試樣，按下CAL鍵，提示“ZERO”，顯示“0.0”。
　　
　　（2）按下CAL鍵，提示“STD1”，顯示“0.0”。
　　
　　（3）在參考試樣上測量5－10次，顯示該試測量結果的平均值。
　　
　　（4）按△或▽鍵，使顯示值與參考試樣厚度值相同。
　　
　　（5）按CAL鍵，儀器存入該校準值后，提示“STD2”，顯示“0.0”。
　　
　　（6）取*標準片，放在參考試樣上，測量5－10次，顯示測量結果一平均值。
　　
　　（7）按△或▽鍵，使顯示值等于參考試樣厚度值與標準片厚度值之和。
　　
　　（8）按CAL鍵，儀器存入該校準值后，提示“STD3”顯示“0.0”。
　　
　　（9）取第二標準片，放在參考試樣上，測量5－10次，顯示出測量結果的平均值。
　　
　　（10）按△或▽健，使顯示值等于參考試樣厚度值與第二標準片厚值之和。
　　
　　（11）按CAL鍵，校準結束，顯示“0.0”儀器進入測量狀態。